受益於5G、AIoT、電動汽車等應用的市場需求增長，推升晶片需求旺盛的同時，也帶動半導體制造裝置市場的持續擴大。全球半導體產能緊缺而引發的擴產潮，使得多裝潢置商2021年度經營業績表現亮眼，營收創歷史新高。

半導體裝置處於整個半導體制造產業鏈的上游，其技術發展的速度在整個半導體產業中有著舉足輕重的地位。國內半導體制造裝置起步較晚，由於核心裝置技術門檻相對較高，市場競爭格局較難打破。

近幾年來，國產半導體裝置廠商通過自主研發，已在多個工藝製程中實現了裝置的國產化替代，並進入產業化量產階段，並湧現出了北方華創、中微公司、盛美上海等優秀的半導體裝備商。除上市企業外，未上市與申請上市中的屹唐半導體、中電科、上海微電子等也是中國大陸半導體裝置商的中堅力量。

圖示：2021年國內上市公司半導體裝置業務營收排名Top10，來源：CINNO Research

Top 1 北方華創

主營半導體裝備、真空裝備、電子元器件等，其半導體業務覆蓋了刻蝕、沉積、清洗等主要半導體制造裝置，2021年半導體裝置營收71.2億元，同比增長71%，穩居中國大陸榜首。

Top 2 中微公司

專注於半導體刻蝕裝置和沉積裝置，2021年營收31.1億元，同比增長37%。

Top 3 盛美上海

半導體清洗裝置市場國內領導廠商， 2021年半導體裝備業務營收15.5億元，同比增長59%。

Top 4 長川科技

主營半導體測試裝置，包括測試機、分選機、探針臺等，2021年營收15.1億元，同比增長88%。

Top 5 新益昌

主營業務為封裝用固晶機、電容老化測試裝置等，其在中國大陸LED固晶機領域有領先地位，2021年其固晶機業務營收9.1億元，同比增長71%。

Top 6 華峰測控

國內最早進入半導體測試裝置行業的本土裝置商之一，2021年裝置業務營收8.8億元，同比增長121%。

Top 7 芯源微

主營半導體晶圓製造中的溼製程裝置，包括塗膠顯影、刻蝕、清洗裝置等，2021年營收8.3億元，同比增長152%。

Top 8 華海清科

主營化學機械拋光裝置，適用於晶圓製造及先進封裝的關鍵製程，2021年營收8.0億元，同比增長109%。

Top 9 拓荊科技

聚焦於半導體薄膜沉積裝置，2021年營收7.6億元，同比增長74%。

Top 10 至純科技

主營業務包括高純工藝整合系統、半導體溼製程裝置、光感測及光器件等，2021年半導體裝置業務營收7.0億元，同比增長222%。