近兩年來,由於全球晶片持續供不應求,促使各大晶圓製造廠商紛紛擴產應對,這也直接推動了全球半導體裝置的市場的增長。根據國際半導體產業協會SEMI的統計,2021年全球半導體制造裝置銷售額激增,相比2020年的712億美元增長了44%,達到1026億美元的歷史新高。

近日,芯智訊根據各半導體裝置公司財報及相關公開資料,整理了2021年自然年度(2021年1-12月)全球前15大半導體裝置供應商的銷售資料及排名顯示,美國應用材料以241.72億美元的收入排名第一,光刻機大廠荷蘭ASML以217.75億美元排名第二,之後的前五廠商分別為日本東京電子(172.78億美元)、美國泛林集團(165.24億美元)、美國科磊(81.65億美元)。

之後排名第6至第15的公司分別為:日本愛德萬(39.07億美元)、美國泰瑞達(37.03億美元)、日本SCREEN(36.32億美元)、韓國SEMES(24.86億美元)、日本日立高科(預計24.53億美元)、日本迪斯科(21.67億美元)、荷蘭ASMI(20.24億美元)、日本尼康(19.98億美元)、中國香港ASM太平洋科技(17.39億美元)、日本Kokusai Electric(16.38億美元)。

可以看到,進入全球前10大半導體裝置企業的門檻約為24億美元,而進入全球前15大半導體裝置企業的門檻則約為16億美元左右。

以2021年全球半導體制造裝置銷售額1026億美元來計算,前五名廠商的總營收(879.07億美元,包括部分非半導體裝置銷售收入)貢獻了整個行業超過85%的營收。第四名的泛林集團的營收是第五名科磊的兩倍,而科磊的營收又是第六名的泰瑞達的兩倍以上,這也顯示出半導體裝置市場強者恆強的特性。

另外,從前十五大半導體裝置廠商總部的所屬地區來看,美國4家,且排名均位於前七;日本7家,佔據了近半;荷蘭2家;韓國1家;中國香港1家。由此也可以看出,美國、日本、荷蘭在半導體裝置領域的強勢地位。

需要強調的是,由於各半導體企業的年報統計的起止時間上有差異,所以正如該統計備註當中所指出的,這份統計資料統計的2021年自然年度的各企業的半導體相關收入,而非各企業2021/22財年的營收。涵蓋了半導體裝置、FPD裝置及相關的服務收入。

1、應用材料

應用材料(Applied Materials,AMAT)成立於1967 年,是全球最大的半導體裝置廠商。其產品主要覆蓋薄膜沉積(CVD、PVD 等)、離子注入、刻蝕、快速熱處理、化學機械平整(CMP)、計量檢驗等裝置。

資料顯示,2019 年應用材料佔據了全球70%的CMP裝置市場。另外有資料顯示,在全球 PVD(Physical Vapor Deposition)裝置市場,應用材料擁有近 55%的份額,在全球 CVD(ChemicalVaporDeposition)裝置市場份額也達到了近 30%。在刻蝕裝置領域,應用材料也有著不小的市場份額。

財報顯示,應用材料截止2021年10月31日的2021財年營收為230.6億美元,同比增長34%。為了儘量靠近2021年自然年的業績,我們用其2021財年的營收加上其截止於2022年1月30日2022財年第一財季的營收(62.7億美元),再減去其截止2021年1月30日的2021財年第一財季的營收(51.6億美元),即應用材料在2021年自然年度的營收約為241.7億美元。

從收入來源地區看,2021年度,應用材料來自中國大陸地區的營收佔比最高,達到了約33.8%。其次是韓國20.3%,臺灣19.8%,美國10.7%,日本8.5%。

根據應用材料最新公佈的財報顯示,其截至2021年5月2日為止的第二財季營收為62.45億美元,基於GAAP(一般公認會計原則),公司毛利率為46.9%,營業利潤為18.9億美元。其中來自中國大陸的營收佔比進一步提升到了34%。

展望2022財年第三季度,應用材料公司預計淨銷售額約為62.5±4億美元,其中包括由供應鏈挑戰所帶來的預期影響。調整後的非GAAP稀釋每股盈餘預計在1.59美元至1.95美元之間。

2、ASML

作為全球第一大光刻機廠商,ASML公司佔據了全球90%以上的高階光刻機市場(以銷售額計算),也是全球唯一一家能夠供應7nm以下先進製程所必需的EUV光刻機的廠商。

一臺EUV光刻機售價約2億美元,而可以製造2nm先進製程的ASML的新一代高數值孔徑 (High-NA) EUV光刻機EXE:5500的售價將更是高達約4億美元。

ASML的公佈的截止2021年12月31日的2021年全年營收為186.11億歐元,同比增長35%。按照2021年度歐元兌美元中間匯率1:1.17換算,約為217.75億美元。

2021年ASML來自光刻系統方面的營收為136.53億歐元,總共銷售了287臺光刻系統。具體的銷量方面,EUV光刻系統42臺,貢獻了約63億歐元,銷售額佔比高達46%;ArFi光刻系統81臺,銷售額佔比36%;ArF光刻系統131臺,銷售額佔比10%;i-Line光刻系統33臺,銷售額佔比1%。

從ASML的光刻系統最終出貨地來看,台灣地區貢獻的銷售額佔比高達44%,韓國佔比35%,中國大陸佔比16%。

根據ASML最新公佈的2022年一季度財報顯示,該季度ASML實現淨銷售額35.34億歐元,同比下滑19%,毛利率為49%,淨利潤6.95億歐元,新增訂單金額70億歐元。從最終出貨地的營收佔比看,來自中國大陸的佔比最高,達34%,緊隨其後的是韓國29%,台灣22%,美國6%,日本7%。

ASML預計第二季度淨銷售額在51億至53億歐元之間,毛利率約為49%-50%。預計研發成本約為7.9億歐元,銷售及管理費用約為2.2億歐元。2022年全年營收預期增長仍為20%左右。

3、東京電子

東京電子是日本最大、全球第三大半導體制造裝置提供商,公司總部在日本東京,主要從事半導體制造裝置和平板顯示器製造裝置的研發和生產。主要產品包括:塗布/顯像裝置、熱處理成膜裝置、幹法刻蝕裝置、CVD、溼法清洗裝置及測試裝置。

資料顯示,東京電子是塗膠顯影裝置領域的行業龍頭,塗布裝置在全球佔有率達到87%。另外,FPD(平板顯示)製造裝置中,其蝕刻機裝置佔有率達到71%。

東京電子2021/22財年(2021年4月1日至2022年3月31日)財報顯示,該財年營收20,038億日元,同比增長43.2%。根據其公佈的2021自然年度的四個個季度的業績合計約18780億日元(包括了FPD生產裝置營收678億日元),按照2021年1日元兌0.0092美元的匯率中間值計算,約合172.78億美元。

從營收來源地區來看,2021年東京電子來自中國大陸的營收佔比最高,達到了27.5%,緊隨其後的是韓國21.3%,台灣18.8%,美國11.8%,日本9.8%。

東京電子今年一季度的營收為5648億日元,同比增長11.5%,毛利為2559億日元,同比增長9.8%。來自中國大陸的營收佔比為22%。

東京電子指出,預計半導體制造裝置市場將進一步成長,因此預估本財年(2022年4月-2023年3月)合併營收將年增17.3%至23,500億日圓、合併營業利率將年增19.5%至7,160億日圓、合併淨利潤將年增19.7%至5,230億日圓。

4、泛林集團

泛林集團又稱拉姆研究,成立於1980年,其產品主要包括刻蝕裝置、薄膜沉積(Deposition—CVD/ECD/ALD)裝置以及去膠和清洗(Strip & Clean)、鍍銅等裝置。在刻蝕裝置市場約佔全球45%份額,全球第一,其中導體刻蝕約佔全球50%以上的市場份額,全球第一;介質刻蝕約佔全球20%以上的市場份額,全球第二;CVD約佔全球市場20%左右的市場份額,全球第三。

泛林集團的2021財年統計的是2020年6月28日至2021年6月27日的財務資料。根據其公佈的各個季度的資料來看,截至2021年12月26日的2021自然年度的營收約為165.24億美元。

從營收來源地區來看,2021年泛林集團來自中國大陸地區的營收佔比也是最高的,達到了33%,緊隨其後的則是韓國26.8%,台灣15%,美國5.5%。

泛林集團公佈的截至2022年3月27日的第三財季業績顯示,該財季營收40.6億美元,上年同期為38.48億美元。季度淨利潤10.22億美元,上年同期為10.71億美元。

5、科磊

科磊公司成立於1976年,總部在美國加州矽谷主要為半導體、資料儲存、LED 及其他相關奈米電子產業提供前道工藝控制和良率管理的解決方案。產品種類已經覆蓋加工工藝環節的各類前道光學、電子束量檢測裝置。憑藉其檢測產品高效、精確的效能特點,科磊在半導體檢測量測裝置領域擁有絕對的龍頭地位。

從具體產品來看,科磊產品範圍廣泛,包括了缺陷檢測、Overlay、CD 量測,膜厚等,應用材料主要是缺陷檢測及複查、CD 量測等,日立主要為 CD-SEM 量測、缺陷檢測等。

根據 2018 年 SEMI 資料,在全球半導體前道檢測裝置領域科磊擁有高達52%的市場份額。

根據科磊的年報顯示,由於其通常是以截至6月30日之前的12個月為一個財年,根據其財報公佈的各個季度的資料計算,可得到其2021年自然年度的營收約為81.65億美元。

從收入的來源地區看,科磊2021年的營收當中,中國大陸的佔比最高,達到了27%,之後則是韓國17.5%,台灣28.6%,美國10.5%,日本8.3%。

科磊公佈的2022財年第三季度(2022年1-3月)業績顯示,總收入為22.89億美元,同比增長了27%。

對於2022年全年的預期,科磊基於其裝置預訂量的增長以及大量積壓的訂單,認為2022年需求將繼續超過供應,並預計在2022年之前季度收入將會連續增長,全年整體收入增長將超過20%。為此,科磊將在全球製造範圍內戰略性地增加產能,以支援這一前景和客戶不斷增長的過程控制要求。

6、愛德萬

愛德萬(Advantest)成立於1954 年,總部位於日本東京市,是全球領先的半導體測試裝置廠商,擁有種類完善的半導體後道測試臺和分選機。資料顯示,在儲存器測試臺細分市場領域,愛德萬以40%的市佔率長期位居全球首位。

愛德萬的年報通常是以截至3月31日之前的12個月為一個財年,根據財報公佈的各個季度的資料計算,可得到其2021年自然年度營收為39.07億美元。

7、泰瑞達

泰瑞達成立於2003年,總部位於美國馬薩諸塞州,是一家全球頂尖的自動測試裝置的供應商。泰瑞達的自動測試裝備產品和服務包括:半導體測試系統、軍事/航空測試儀器和系統、儲存測試系統、電路板測試和檢查系統、無線測試系統。

根據泰瑞達公佈的財報資料顯示,其2021年自然年度營收為37.03億美元。

2022年第一財季(1月1日-2022年4月3日)泰瑞達營業收入7.55億美元,淨利潤1.62億美元。

泰瑞達總裁兼執行長Mark Jagiela表示,進入第二季度,測試中的需求環境比我們1月份的展望逐步改善,汽車和快閃記憶體終端市場尤其強勁。在工業自動化方面, Universal Robots和autonomous mobile robot需求依然強勁,預計全年收入增長率將加快。2022年第二季度的收入指引為7.8億美元至8.7億美元。

8、Screen

Screen(迪恩士)成立於1973年,總部位於日本東京,產品覆蓋半導體、LCD、印刷電路板製程裝置。資料顯示,Screen在單晶圓清洗裝置市場佔有率高達54.9%。

Screen的2021/22財年的年報(2021年4月-2022年3月)營收是4118億日圓,同比增長28.6%。通過查閱財報可以看到,其2021年自然年度的營收為其2022財年前三季度營收2911億日元加上2021財年第四財季營收1038億日元,最終計算得到的年度營收為3949億日元,約合36.32億美元。

財報也顯示,Screen今年一季度(2022年1-3月)營收為1207億日元,同比增長了14%。

Screen表示,一季度SPE訂單額創新高。Screen社長廣江敏朗線上上財報說明會上也表示,“來自晶圓代工廠等企業的訂單強勁,此種情況預估將持續至2023年3月”。

9、SEMES

SEMES是韓國三星電子旗下的一家半導體裝置供應商(三星擁90%以上的Semes的股份),同時也是韓國最大的半導體裝置製造商。目前,Semes的產品主要包括半導體前道工序領域的清洗(LOTUS、BLUEICE PRIME)、Phototrack(OMEGA-S、OMEGA-K)、蝕刻(Michelan O3、Michelan C4)裝置,還有後道工序的Bonder、Probe、Test Handler等裝置。

根據SEMES官網資料顯示,其2021年全年的收入為3.12萬億韓元,按照2021年韓元兌美元的中間匯率(1:0.0008)計算,約合24.96億美元。營業利潤為3533億韓元,約合2.83億美元。這是該公司迄今為止最好的年度業績。與2020年相比,收入和營業利潤也分別增長了41%和24%。其中,晶圓廠相關裝置佔Semes的2021年收入的75%,而平板顯示裝置佔比1.7%。作為對比,在2020年,其晶圓廠裝置佔其年收入的61.24%,而平板顯示裝置佔比9.9%。

10、Hitachi Higt-Tech

日本日立高科(Hitachi Higt-Tech)成立於1947年,是全球領先的裝置大廠。主要產品包括半導體裝置、電子顯微鏡、FPD裝置及醫療分析裝置等。其中,面向半導體領域提供過程裝置,計量和檢測裝置,其核心產品包括CD測量SEM和等離子蝕刻系統,可實現高精度超細加工。此外,其FPD裝置包括包括Array、Cell、Module、彩色濾光片之製程裝置,包含玻璃基板表面檢查裝置、曝光機、溼製程裝置等。

日立高科2020年半導體相關業務營收為2186.09億日元,約合20.11億美元。如果按照其2021年營收增長22%(2021年全球半導體制造裝置銷售額同比44%增長的中位數)來計算,將到達24.53億美元。

11、DISCO

DISCO(迪斯科)創立於1937年,總部位於日本東京,是全球領先的晶圓切割裝置廠商。

其2021/22財年(2021年4月-2022年3月)營收2,537.81億日圓,同比增長38.8%。按照其財報展示的各個季度業績資料計算,其2021年自然年度的營收為2355億日元,約合21.67億美元。

DISCO今年一季(2022年1-3月)度營收628億日元,同比增長13.77%。

DISCO指出,因客戶投資意願持續旺盛,該公司產能將持續全開來因應,預估今年二季度(2022年4-6月)合併營收將較去年同期成長29.2%至624億日圓、合併營益預估大增43.7%至222億日圓、合併純益將大增48.4%至157億日圓,出貨額預估將成長8.9%至683億日圓。

12、ASM International 

ASMI(ASM International N.V.)成立於1968年,總部位於荷蘭,是一裝潢置供應商,主要供應半導體、LED和電子製造業產品。該公司為客戶提供設計、製造和銷售裝置和服務,生產半導體器件或積體電路、發光二極體和一般電子製造。其中面向半導體領域的裝置主要包括:晶圓加工裝置,裝配和包裝裝置,測試裝置等。

ASMI還開創了工業中使用的許多成熟晶圓加工技術的重要方面,包括光刻、沉積、離子注入和單晶圓外延。近年來,ASMI還將原子層沉積 (ALD) 和等離子增強原子層沉積 (PEALD) 從研發帶到了先進製造商現場的主流生產。官方的資料顯示,在2020年ALD裝置市場,ASMI佔據了55%的市場份額。

值得一提的是,ASM太平洋科也是由ASMI投資的,當ASM太平洋科技於1989年在香港上市時,其持有53.1%的股份,之後ASMI一路減持,截至去年底仍持有約24.96%的股份。

根據財報資料顯示,ASMI在2021年度的營收為17.30億歐元,約合20.24億美元。

2022年一季度財報顯示,ASM太平洋科技營收為52.7億港元,同比增加21.5%;公司持有人應占盈利8.32億港元,同比增加59.6%。

13、Nikon

尼康成立於1917年,總部位於日本東京,是全球領先的基於先進光電和精密技術的產品和解決方案供應商之一。除了我們所熟知的相機產品之外,尼康還擁有針對半導體及FPD製造的光刻裝置。

尼康的2022財年是自2021年4月1日-2022年3月31日的12個月,並且其業務範圍較廣,光刻機僅為其主營業務之一。因此,我們根據財報統計了2021年自然年度其精密裝置業務(包括半導體裝置和FPD裝置)的銷售額,總計為2172億日元,總計約為19.98億美元。

財報也顯示,尼康在2021財年(2021年3月-2022年3月)銷售了9臺全新的半導體光刻裝置,以及18臺翻新的光刻裝置。

14、ASM Pacific Technology   

ASM太平洋科技有限公司立於1975年,是一家總部設在中國香港特別行政區的上市公司(1989年香港上市),同時在中國深圳,新加坡和馬來西亞擁有生產和研發基地。主要從事半導體及電子行業機械及材料生產業務,是全球頭部的半導體和發光二極體(LED)行業的整合和封裝裝置供應商,為跨國晶片製造商、獨立積體電路(IC)裝配工廠、消費電子產品和LED製造商提供裝配裝置及材料(蝕刻式和衝壓式引線框架)等。

財報顯示,2021年自然年度度營收28.2億美元,同比增長49.3%。來自中國大陸的營收佔比高達47.8%。其2021年度半導體裝置解決方案的營收為17.39億美元,同比增長69.6%。

ASM太平洋第一季度營收52.7億港元,同比增長21.46%,淨利潤8.32億港元,同比增長57.10%。

15、Kokusai Electric

Kokusai Electric原為日立國際電氣,並與日立High Technology共同在日立集團下開展半導體裝置的競爭。但隨著日立製作所的業務集中、篩選,在2017年作為非核心業務被出售給了美國的私募基金(Private Equity Fund)――Kohlberg Kravis Roberts(KKR),正式脫離日立集團。此外,KKR把原本在日立國際電氣集團中承擔半導體生產裝置和成膜工藝技術的資產進行彙總,於2018年6月成立了新的Kokusai Electric。

KKR此前計劃將Kokusai Electric部分半導體裝置業務(或者全部業務)出售給中國的大型企業和中國政府聯合的基金組織,遭遇失敗。隨後應用材料也計劃35億美元收購Kokusai Electric,但同樣遭遇了失敗。

根據Kokusai Electric官網公佈的資料顯示,其2021財年營收為1780億日元,約合16.38億美元。其中來自中國大陸的營收佔比最高,達到了30.2%。

其他有望進入前20的廠商

國產半導體裝置廠商北方華創北方2021年實現營業收入96.83億元,同比增長59.90%,實現歸母淨利潤10.77億元,同比增長100.66%。其96.83億元的營收,約合14.52億美元,應該足以進入2021年全球前20大半導體裝置企業排名。

2022年一季度,北方華創實現營業收入21.36億元,同比增長50.04%,實現歸母淨利潤2.06億元,同比增長183.18%。

北方華創表示,2022年一季度公司單晶爐產品出貨相較往年有所減少;碳化矽長晶裝置訂單飽滿,預計今年出貨將超500臺。總體來說,北方華創目前在手訂單充足較為充足,生產經營正常,預計2022年全年也將保持增長。

日本半導體裝置廠商大福集團(Daifuku)的2021財年(2020年4月-2021年3月)銷售收入為5122.68億日元。查詢財報,統計2021年四個自然季度的總銷售收入為4965億日元,約合45.68億美元。其中來自電子行業(主要為半導體行業的潔淨室儲存、搬運系統)的收入佔比約為29.4%(2021財年),基於此估算,其2021年自然年度收入約13.43億美元,也有望進入2021年全球前20大半導體廠商排名。

佳能的半導體裝置業務被劃分在“Industrial & others”當中,其中還包括了網路攝像機、工業相機、CMOS感測器、大型商用印刷機/印表機等,2021年度的該業務的營收為5457.42億日元,同比增長18.2%。單純看財報,確實難以把半導體裝置的營收獨立計算出來。不過,其營收規模要遠小於尼康。

半導體裝置需求旺盛,但供應受限

自2020年四季度全球“缺芯”危機爆發以來,推動眾多的晶圓製造廠商紛紛開始了大規模的擴產。根據SEMI的預測報告,全球半導體制造商將於2021年年底前啟動建置19座新的高產能晶圓廠,2022年將開工建設另外10座晶圓廠以滿足市場對於晶片不斷增加的需求。而晶圓製造廠商的紛紛擴產也直接拉動了對於半導體裝置的旺盛需求。

SEMI的資料顯示,2021年全球半導體制造裝置銷售額激增,相比 2020年的 712 億美元大幅增長了44%,達到1026億美元的歷史新高。而對於2022年半導體裝置市場,SEMI則預測2022年全球前端晶圓廠裝置支出總額將同比增長18%,達到1070億美元的歷史新高。

從前十五半導體裝置廠商的一季度業績來看,大部分的廠商一季度營收都保持了不錯的增長,同時對於2022年全年不少廠商也是給出了繼續保持增長的預期。

不過,對於半導體裝置廠商來說,目前訂單充足,但是也面臨著零部件、材料供應限制,導致自身產能上的限制,產品的交期也持續延長。

據《日經亞洲評論》此前報導稱,由於從鏡頭、泵、閥門、微控制器、工程塑膠、電子模組等零件全都緊缺,應用材料、科磊、泛林集團、ASML等半導體裝置大廠都向客戶發出警示,部分關鍵裝置必須等待最多18個月才能交付。

資料顯示,在疫情爆發前的2019年,半導體裝置交貨期平均約為3~4個月,2021年已延長至10~12個月。業界訊息透露,科磊檢測裝置的交期已經達到了20個月以上。但是,採訪十多名業界高層後卻發現,許多半導體裝置廠商的零部件供應商的擴產意願卻並不高,這也使得供應緊張,同時尋找替代品的難度也大。SEMI最新公佈的預測資料顯示,目前部分半導體裝置的交付時間甚至超過2年。

ASML CEO彼得·溫寧克(Peter Wennink)在今年3月接受媒體採訪時表示,ASML的部分零部件供應商就因為缺芯導致延遲交付,這也進一步導致ASML的裝置出貨受阻。在之後的採訪中,溫寧克還透露,由於缺少晶片,一家制造企業正在大量購買洗衣機,然後拆除其中的晶片來使用。

應用材料總裁兼 CEO Gary Dickerson在今一季度財報電話會議上表示,應用材料正在面對供應中的多重挑戰,關鍵問題則是矽元件以及裝置子系統中某些部件的短缺。

泰瑞達負責人也表示,“從供應的角度來看,我們在大多數產品領域繼續遇到材料限制。”

泛林半導體總裁兼執行長 Timothy M.Archer也強調,由於缺乏關鍵元件,該季度泛林半導體有20億美元收入將無法確認。

ASMI CEO Benjamin Loh今年一季度也表示,由於缺芯導致製造晶片的機器裝置也出現了晶片短缺,這也導致了公司機器交貨延遲,而這又會再影響到全球晶圓廠的增產。晶片供應吃緊的情況,很可能今年仍將持續一整年。

自 芯智訊