能迪科技淨化空調自控系統使廠房中央空調穩定高效執行達到潔淨車間要求

電子工業乃是我國經濟現代化當中不可或缺的重要支撐力，而以積體電路為其代表的半導體晶片製造業而言，其是電子工業發展的基礎與核心。晶片效能好壞與工藝技術及設計的嚴格性、合理性及先進性.息息相關，而晶片可靠性及成品率，則與加工製造環境的潔淨度及製作材料的純度相關，尤其是伴隨當今奈米加工技術的不斷髮展與廣泛應用，超淨環境及超純材料已然成為半導體工業進步與創新的關鍵。

潔淨廠房的標準

《潔淨廠房設計規範》GB50073-2013中制定：無塵室中空氣懸浮顆粒物濃度是可控的，其建造和執行均應降低室內滯留、產生的塵粒數量，並且淨化區域溫溼度等相關引數都在可控範圍內。由於工藝不同，需求的淨化等級和建造標準也不同，根據空氣中≥0.5μm/0.1μm的顆粒數對潔淨室分為：十級、百級、千級、萬級、十萬等級別。

一般來說國內現行的標準有：GB/T16292-1996、BS5595、FS209E、ISO14644-1、歐盟GMP等，按照這些要求進行特定顆粒的測量和計算，以對潔淨室和潔淨區域的清潔度水平進行分級。根據生產工藝、機械裝置的實際需求合理選擇最佳的淨化級別建造潔淨室，在達到需求的同時降低建造成本，資源能耗是淨化設計的基本目標。

淨化空調

半導體廠房 淨化空調自控系統是電子廠房建設的重要組成部分，廠房各類生產工藝的正常執行都依賴於一個高品質的潔淨環境。能迪科技canlead® 淨 化空調自控系統是一套智慧化 （PLC）、透過對於車間的溫度、溼度、壓力等實行自動控制，使其穩定高效執行，從而達到潔淨車間的設計要求。

淨化車間溼度和壓力的控制

淨化車間溼度和壓力主要取決於新風機組，新風機組採用PLC控制，PLC根據室外空氣溫度將整個空氣處理過程分為三個區域：當室外空氣含溼量是9.72g/kg幹空氣時，空調機組冷盤管對空氣進行除溼，再根據冷卻後的溫度調整電動水閥的開度保證出風露點值穩定；在室外氣體的含溼量小於9.72g/kg，並且溼球溫度大於9.53℃時，對空氣進行冷卻加溼，透過出風露點溫度值調整製冷盤管電動水閥的開度，由出風含溼量控制加溼器的加溼量；當室外空氣絕對溼度小於9.72g/kg及溼球溫度小於9.53℃時，對空氣加熱並加溼，透過出風露點溫度自動調整加熱盤管電動閥的開度，同時PLC根據出風空氣含溼量值，控制加溼器加溼量。具體控制引數還要根據各個例項、工藝需求再做適當調整，儘可能找到既滿足每個工藝要求又是最節能的控制點。

新風機組壓差及加溼器控制

根據送風主管壓力訊號，透過變頻器調節風機轉速，保證送風主管靜壓；室內各個區域需求的壓差值透過調整對應新風支管電動風閥實現。

車間溫度控制

車間溫度主要由幹盤管承擔，PLC根據潔淨室內各區域溫度感測器的平均值，調節不同區域幹盤管電動閥的開度，保證房間該區域溫度的恆定值。自動控制在滿足工藝需求的同時儘可能的適時調整降低能耗。

推進中國半導體材料國產化

在國家鼓勵半導體材料國產化的政策導向下，本土半導體材料廠商不斷提升半導體產品技術水平和研發能力，能迪科技canlead® 淨化空調自控系統將成為半導體行業飛速發展的助推劑，逐漸打破了國外半導體廠商的壟斷格局，推進中國半導體材料國產化程式。