AAF潔淨廠房解決方案助力中國"智"造

前不久的“中興事件”暫告一個段落，這件事讓我們深刻的感受到 “核心技術受制於人是我們最大的隱患”這個問題的迫切性。當然，實現微電子行業快速、穩定和高質量的發展，除了技術研發層面，還包括很多基礎硬體和環境保障等方面的因素。在這其中，微電子工業潔淨廠房作為最基礎的環境保障，其必要性不言而喻。

    微電子工業潔淨廠房的設計是一項綜合技術，只有充分了解微電子工業潔淨廠房的設計特點，做到設計合理和選型適當，才能滿足嚴苛的標準和要求。微電子工業潔淨廠房一般是相對密閉的空間，通常高階別潔淨廠房的淨化空調系統採用佈置靈活的FFU送風方式，FFU即為“Fan Filter Units”,中文直譯就是“風機濾器機組”。其原理就是將風機和過濾器（HEPA或ULPA）組合在一起構成自身提供動力的末端淨化裝置。該方式解決了傳統送風方式不能使用工藝佈局和淨化等級要求變化的問題，不過由於風機和過濾器的差別，潔淨廠房最終實現的效果也有所差別。

    那麼如何選擇能夠滿足微電子工業潔淨廠房設計要求的FFU系統解決方案呢？AAF作為潔淨空氣解決方案的全球領導者，在90多年的歷史中一直致力於為微電子行業開發高效節能的過濾解決方案，包括顆粒物和AMC (分子氣態汙染物) 過濾，全系列產品覆蓋了粗中高效空氣過濾器、化學過濾器、高效送風口、FFU/EFU、層流罩等淨化裝置。同時，AAF蘇州工廠與上海同濟大學產學研合辦的FFU測試實驗室，配合AstroScan全自動檢漏掃面測試臺以及化學實驗室，使得AAF成為中國唯一一家能夠提供從高效過濾器到FFU裝置，化學測試能力的過濾器廠家。

    此外，AAF在 FFU系統控制方面也引入了自主研發的AstroDrive™群控系統。該系統以高速乙太網交換機為基礎，透過閘道器形式連線多組FFU裝置，每8秒一次的系統掃描速度輕鬆實現高效叢集化控制。在系統實用性方面，AstroDrive™群控系統相容市場中所有支援EBM BUS協議的風機接入，並可在多版本的WINDOWS作業系統下安裝。同時使用者可根據自身需求和使用環境對系統進行定製和修改，實現分割槽及跨區管理，並透過增加OPC Server管理，在資訊系統中統一檢視規劃。

 

    透過先進的生產、嚴謹的管理、卓越的品質、高效的效能、完整的測試服務以及超高的TCO (整體擁有成本)，使得AAF的系列產品廣泛應用於半導體、電子、平板顯示、光伏等各行各業，根據客戶不同淨化等級的要求，AAF都可以提供全方位的淨化空氣解決方案。

 

氣相色譜質譜聯用儀、離子色譜儀

    此外，AAF還擁有世界領先的化學實驗室，配備氣相色譜質譜聯用儀、離子色譜儀等高階大型的分析測試儀，使得AAF可以直接至客戶現場採集氣體樣本並分析樣本氣體成分，不僅大大縮短了氣體取樣和分析的時間，更利於為客戶提供後續跟蹤服務，促使AAF更高效優質的服務客戶，為客戶提供更完善的解決方案。

    中國正處於第十三個五年規劃中的重要時期，大力發展自主核心技術已成為一個必須要解決的問題。這樣的環境下，微電子行業將會迎來一個高速發展的時期。藉此契機，整個行業對潔淨廠房的需求也會不斷增多、對質量的要求也在逐漸提高，AAF作為潔淨空氣解決方案的專家，將為“中國智造”提供一系列完美的產品和解決方案，我們拭目以待。