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MEMS，MEMS全稱Micro Electromechanical System，即微機電系統，是集微感測器、微執行器、微機械結構、微電源微能源、訊號處理和控制電路、高效能電子整合器件、介面、通訊等於一體的微型器件或系統，是一個獨立的智慧系統，可大批量生產，其系統尺寸在幾毫米乃至更小，其內部結構一般在微米甚至奈米量級。 MEMS感測器，是MEMS中的核心元件，它是一種將能量從一種形式轉變成另一種形式，並針對特定可測量的輸入為使用者提供一種可用的能量輸出的微型器件，它是採用微電子和微機械加工技術製造出來的。
中國作為全球最大的電子產品生產基地，消耗了全球近二分之一的MEMS器件，中國MEMS產業迅速向全國地區滲透，已在長三角和京津冀地區建立完整的產學研佈局，MEMS產業規模和資源主要集中在東部沿海地區。
2019年中國MEMS市場依然保持增長，整體市場規模達到597.8億元，同比增長18.3%，市場增速高於感測器市場增速。網路通訊仍然是MEMS最大的市場，市場主要是以國外廠商為主，美國廠商佔比過半。
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