10萬級半導體無塵車間塵埃粒子檢測器

積體電路是當今資訊科技產業高速發展的基礎和源動力，其技術水平和發展規模已成為衡量一個國家產業競爭力和綜合國力的重要標誌之一。近年來一系列的政策出臺鼓勵國內半導體行業的發展，半導體“大基金”為國內半導體行業發展提供直接支援，將能有力提高積體電路領域的投資能力，從而釋放相關裝置領域的需求。潔淨室工程是積體電路製造環節中重要的一環，直接決定了較終產品的成敗。

**積體電路的基礎製造材料是矽片，矽片經過各種表面處理後，與光刻板一起經過包括光刻、熱處理、介質沉積、化學機械研磨等工藝較終形成積體電路晶片。**如果生產過程中潔淨程度達不到要求，產品良品率會受到很大影響，較終產品就會失敗。隨著技術的進步，積體電路對潔淨度的要求越來越高。一般而言，當微粒尺寸達到積體電路節點一半大小時就成為了破壞性微粒，對積體電路的製造產生影響。比如，14 奈米工藝中 7 奈米的微粒就會影響製造過程。隨著積體電路的工藝越來越高，目前5奈米的工藝已經開始研發，積體電路製造過程需要的潔淨程度越來越高，對於潔淨室工程的技術提出越來越高的要求。

積體電路幾乎所有環節都需要潔淨室內完成，且積體電路生產對潔淨度 要求很高。和其他產業不同，積體電路產業鏈幾乎所有的主要環節都需要在潔淨環境中進行，從單晶矽片製造，到 IC 製造的幾乎所有環節，到 IC 封裝的重要步驟都需要在潔淨室中完成，且對於潔淨度的要求非常高。潔淨室又被稱為無塵室或清淨室，是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之汙染物排除，並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分佈、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求範圍內，而所給予特別設計之房間。

即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔淨度、溫溼度及壓力等效能之特性。潔淨室講的通俗點就是利用一定的科學技術手段，控制一定空間範圍內的空氣懸浮的顆粒濃度，而達到一定的濃度級別對應的就是一種潔淨室的等級。嚴格的來講，潔淨室不僅僅是控制空氣中的微小顆粒，他要控制的是整個車間（潔淨室）裡面的微粒子，灰塵，細菌和微生物等等，除了要控制這些，潔淨室一般還得控制溫溼度等其他引數。

潔淨室在我們生產企業裡面是使用的比較普遍的，比如電子類產品一些工序對空氣中的微小顆粒是有要求的，需要達到一定的級別，其中SMT貼片室就最為典型。淨化車間一般包含機器裝置區(包含淨化機組用地、電氣裝置用地、工業純水和高純度氣用地、熱冷機器裝置用地等)、管理區(包含辦公室、值勤、管理室和休息區等)、潔淨輔助間(包含工作人員淨化用室、原材料淨化用室和一部分日常生活淨化用室等)、廠區。後三類用地全是為潔淨廠區服務專案的裝置。

CW一RPC系列遠端鐳射塵埃粒子計數器是賽納威研發的智慧多點監控系統的終端裝置，可以通過RJ45網路介面、WiFi、485 (moudbus）等，將資料傳輸給PC終端，為使用者提供實時準確的車間微粒數量和淨化等級。該粒子計數器按照國際標準IS014644-1，GMP和日本工業標準(JIS）要求標定，其計數效率和準確性滿足JJF1190-2008《塵埃粒子計數器》校準依據，專業應用於電子行業、製藥車間、食品、藥品車間、半導體、光學或精密機械加工車間等潔淨環境；使用者可根據需要增加或減少控制終端，可實現7*24實時遠端自動監測，有助於企業提升自動化、精細化管理。

粒子計數器裝置分落散佈在車間各監控點位，由安裝了系統監控軟體的主控電腦控制各採集點的工作狀態；監控軟體可選擇設定測試粒徑、測試時間、取樣間隔、重新整理頻率、顯示單位、取樣模式和超限報警等，並可對測試歷史資料按需求進行查詢、統計、分析及繪製曲線圖，並可提供moudbus485通訊協議對接使用者物聯網平臺，供使用者自行開發和應用。