安集科技王雨春博士:CMP的藝術,以材料創新助力中國創“芯”
(全球TMT2021年11月6日訊)11月2日,2021年中國半導體材料創新發展大會(中國積體電路製造年會暨供應鏈創新發展大會)在廣州召開。安集微電子科技(上海)股份有限公司副總裁王雨春博士作為受邀嘉賓,在大會上發表了《CMP的藝術,奈米介面的材料工程科學原理》的演講。
自1998年獲得伯克利加州大學材料博士之後,王雨春博士一直從事積體電路工藝研究, 先後在美國應用材料、嘉伯特微電子領導技術開發工作。他在演講中談到,隨著先進工藝節點的尺度微縮和3D IC的縱向延伸,CMP拋光的工藝創新需要在奈米尺度材料介面有不斷的認知和探索。這就代表著我們需要不斷的堅持創新、堅持自主研發。
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