一：透射電鏡的簡介
1.1概念及簡史
概念：透射電子顯微鏡（Transmission Electron Microscope，TEM）是以波長極短的電子束作為照明源，用電磁透鏡聚焦成像的一種高分辨本領、高放大倍數的電子光學儀器。 簡史： 1933年，德國科學家盧斯卡（Ruska）和克諾爾（Knoll）研製出了世界上第一臺透射電鏡，到今天，透射電鏡已經誕生了70多年，由電鏡應用而形成的交叉性學科——電子顯微學已經日趨完善，電鏡的分辨能力也比最初時提高了超過100倍，達到了亞埃級，並且在自然科學研究中起到日益重要的作用。
1.2解析度：為什麼採用電子束做為光源?
1.2.1自然光與電子束的波長 可見光的波長在390～760nm 電子波長：
取V=100kV，理論得到電子波長為0.0037nm
1.2.2顯微鏡的解析度
通常人眼的分辨本領大概是0.2mm（即人眼可分辨的兩點間最小距離 為0.2mm） 顯微鏡可分辨的兩點間的最小距離，即為顯微鏡的解析度
λ是照明束波長，α是透鏡孔徑半形，n 是物方介質折射率，n·sinα或N·A稱為數值孔徑。也就是說孔徑半形大，介質折射率大，波長小，解析度就越高。
採用物鏡的孔徑角接近90度 考慮採用可見光波長極限390nm的光束照明顯微鏡系統，可得d 約為200nm 對於TEM在100kV加速電壓下，波長0.0037nm，d約為0.002nm，目前電子顯微鏡達不到其理論極限解析度，最小解析度達到0.1nm
1.2.3有效放大倍數 光學顯微鏡必須提供足夠的放大倍數，把它能分辨的最小距離放大到人眼能分辨的程度。相應的放大倍數叫做有效放大倍數，它可由下式來確定：
光學顯微鏡的有效放大倍數
透射電鏡的有效放大倍數
由上面公式可以直接得出，光學顯微鏡的有效放大倍數遠小於透射電鏡。 電子影象的放大倍數為物鏡、中間鏡和投影鏡的放大倍數之乘積，即M=M.Mr.Mp。
1.3分類
透射電子顯微鏡（簡稱透射電鏡，TEM）可以以幾種不同的形式出現： 高分辨透鏡（HRTEM）：JEM2100，點解析度：0.23 nm，晶格解析度：0.14 nm，最小束斑尺寸0.5nm 透射掃描電鏡（STEM）: 利用磁透鏡將電子束聚焦到樣品表面並在樣品表面快速掃描，通過電子穿透樣品成像，既有透射電子顯微鏡功能，又有掃描電子顯微鏡功能的一種顯微鏡。 分析型電鏡(AEM):JEM2010HF，點解析度: 0.25 nm,晶格解析度: 0.19 nm,最小束斑尺寸1.5nm
二：基本構造及各部分結構原理
圖1.透射電鏡電子光學部分基本構造示意圖
照明系統
照明系統主要由電子槍和聚光鏡組成。它的作用：為成像系統提供一束亮度高、相干性好的照明光源；選擇照明方式（明場或暗場成像）。
2018-12-1310:48:28